マルチプロープSTMと結晶格子による2次元変位エンコーダの開発

マルチプロープSTMと結晶格子による2次元変位エンコーダの開発
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利用多探针STM和晶格开发二维位移编码器

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
2004年秋季精密工学会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
Chaikool Patamaporn
Chaikool Patamaporn
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
本田裕;明田川正人;Chaikool Patamaporn

文献摘要

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