Development of Measurement Technique of Absolute Carbon Atom Densities in Reactive Plasma Processes Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy
Development of Measurement Technique of Absolute Carbon Atom Densities in Reactive Plasma Processes Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy
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反应等离子体过程中真空紫外吸收光谱绝对碳原子密度测量技术的发展
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Sasaki;S.Takashima;M.Hori
