Y.Nakayama,K.Wakita,K.Watanabe and T.Kawamura: "Ion sampling from rf plasma" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing,Tokyo 1990. 241-244 (1990)
Y.Nakayama,K.Wakita,K.Watanabe and T.Kawamura: "Ion sampling from rf plasma" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing,Tokyo 1990. 241-244 (1990)
复制标题
Y.Nakayama、K.Wakita、K.Watanabe 和 T.Kawamura:“射频等离子体中的离子采样”第七届等离子体处理研讨会论文集,东京 1990 年。241-244 (1990)
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: