Evaluation of Mechanical Properties of Polycrystalline Silicon Thin Ffilms under Tensile Loading
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复制标题
拉伸载荷下多晶硅薄膜力学性能评价
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Minoshima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Aoki;Y. Imai;K.Minoshima
