異なる基盤温度で作製したAlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす熱処理の影響
異なる基盤温度で作製したAlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす熱処理の影響
复制标题
热处理对不同基底温度制备的AlN/SiCN复合薄膜力学性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
野瀬正照
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
長江和樹;松田健二;野瀬正照
