S.Tanabe: "Low Temperature Plasma Source" Proceedings of 2nd International Conference on Reactive Plasma and 11th Symposium on Plasma Processing. 1. 139-142 (1994)
S.Tanabe: "Low Temperature Plasma Source" Proceedings of 2nd International Conference on Reactive Plasma and 11th Symposium on Plasma Processing. 1. 139-142 (1994)
复制标题
S.Tanabe：“低温等离子体源”第二届国际反应等离子体会议和第十一届等离子体处理研讨会论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
