アルミニウム原料を用いたGaAs(100)面のMOVPE内 in situ パッシベーション

アルミニウム原料を用いたGaAs(100)面のMOVPE内 in situ パッシベーション
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使用铝原料对 GaAs(100) 表面进行 MOVPE 原位钝化

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中野義昭
中野義昭
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
寺田雄紀;出浦桃子;霜垣幸浩;杉山正和;中野義昭

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