パルススパッタ堆積法によるサファイア基板上GaN(000-1)薄膜の高品質化
パルススパッタ堆積法によるサファイア基板上GaN(000-1)薄膜の高品質化
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脉冲溅射沉积法提高蓝宝石衬底上GaN(000-1)薄膜的质量
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上野 耕平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nakata;H.;Miura;A.;Yoshie;M.;Kudo;K.;上野 耕平
