Ion Trajectory Prediction at High-Aspect-Ratio Hole Etching by the Combination of On-Water Monitoring and Sheath Modeling
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结合水上监测和鞘层建模进行高深宽比孔蚀刻的离子轨迹预测
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寒川誠二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大竹浩人;福田誠一;陣内佛霖;辰巳知彦;寒川誠二
