超音波による非周期的裏面の3 次元粗さ評価に関する基礎的検討
超音波による非周期的裏面の3 次元粗さ評価に関する基礎的検討
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利用超声波评估非周期性背面3D粗糙度的基础研究
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
桑村尚樹，黒川悠，井上裕嗣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chanh Nghia NGUYEN;Masaki SUGINO;Yu KUROKAWA;Hirotsugu INOUE;桑村尚樹，黒川悠，井上裕嗣
