アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
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铝磁盘基板超高压超高速抛光中抛光机寿命的检验（第一篇报告） - - 层状毛刺结构抛光机案例 -
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山崎穣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安井平司;山口寛太;松川誠治;山崎穣
