プラズマ支援原子層堆積プロセスによるナノスケール薄膜の形成と評価
プラズマ支援原子層堆積プロセスによるナノスケール薄膜の形成と評価
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等离子体辅助原子层沉积工艺纳米级薄膜的形成和评估
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野俊樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
北嶋武;中野俊樹
