AlN・GaN・LiNbO3の表面活性化ウエハ接合技術の開発
AlN・GaN・LiNbO3の表面活性化ウエハ接合技術の開発
复制标题
AlN/GaN/LiNbO3表面活化晶圆键合技术的开发
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
片山竜二
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小野寺卓也;上向井正裕;髙橋一矢;岩谷素顕;赤﨑勇;林侑介;三宅秀人;片山竜二
