非接触による焦点型圧電高分子トランスデューサを用いた集積回路の画像形成
非接触による焦点型圧電高分子トランスデューサを用いた集積回路の画像形成
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使用聚焦压电聚合物换能器对集成电路进行非接触式成像
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋貞幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
村山 陽寛;湯本 菜々瀬;久保 博嗣;赤塚雅史，今野和彦;高橋貞幸
