PDMS膜のメタル非堆積性を用いたメタルパターニング
PDMS膜のメタル非堆積性を用いたメタルパターニング
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利用PDMS薄膜的金属非沉积特性进行金属图案化
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
辻岡強
中科院分区:
文献类型:
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作者:
辻功祐;辻岡強