M.Yamamoto: "Low Energy Reactive Ion Source Using ECR Discharge for Ion Beam Processing" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma and 14th Symp.Plasma Processing. 385-386 (1997)
M.Yamamoto: "Low Energy Reactive Ion Source Using ECR Discharge for Ion Beam Processing" Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma and 14th Symp.Plasma Processing. 385-386 (1997)
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M.Yamamoto：“使用 ECR 放电进行离子束处理的低能量反应离子源”Proc.3rd Int.Conf.Reactive Plasma 和 14th Symp.Plasma Process。
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