レーザースペックル法を用いた圧電振動デバイス振動変位測定システムの高感度化
レーザースペックル法を用いた圧電振動デバイス振動変位測定システムの高感度化
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激光散斑法高灵敏度压电振动器件振动位移测量系统
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山岸直生,望月敬太,渡部泰明
中科院分区:
文献类型:
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作者:
望月敬太;小林 甫 ;渡部泰明;山岸直生,望月敬太,渡部泰明