Kazuo Itoh: "Pattern Transfer of 3-dimensional Fine Structures to the Si Substrates Using Reactive Ion Etching"2002 Annual Report of Gunma University, Satellite Venture Business Laboratory. 7. 56-59 (2003)
Kazuo Itoh: "Pattern Transfer of 3-dimensional Fine Structures to the Si Substrates Using Reactive Ion Etching"2002 Annual Report of Gunma University, Satellite Venture Business Laboratory. 7. 56-59 (2003)
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Kazuo Itoh：“使用反应离子蚀刻将 3 维精细结构图案转移到硅基板”2002 年群马大学卫星创业商业实验室年度报告。
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