Absolute EUV reflectivity measurements using a broadband high-harmonic source and an in situ single exposure reference scheme.
Absolute EUV reflectivity measurements using a broadband high-harmonic source and an in situ single exposure reference scheme.
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使用宽带高次谐波源和原位单次曝光参考方案进行绝对 EUV 反射率测量
DOI：
10.1364/oe.463216
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
S. Fuchs
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. J. Abel;F. Wiesner;J. Nathanael;J. Reinhard;M. Wünsche;G. Schmidl;A. Gawlik;U. Hübner;J. Plentz;C. Rödel;G. G. Paulus;S. Fuchs
