集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術

集束超音波を用いた非近接型静電気計測技術
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使用聚焦超声波的非接近静电测量技术

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
静電気学会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
菊永 和也
菊永 和也
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Ryo Yamaguchi;Shouhei Kidera and Tetsuo Kirimoto;菊永 和也

文献摘要

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