プラズマ支援ミストCVDによる微小凹凸構造を有した酸化亜鉛薄膜形成
プラズマ支援ミストCVDによる微小凹凸構造を有した酸化亜鉛薄膜形成
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等离子体辅助雾气CVD形成微粗糙结构氧化锌薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹中弘祐,節原裕一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kosuke Takenaka;Yuichi Setsuhara;竹中弘祐,節原裕一
