Yunlong Li: "Production of large-diameter plasma by modified magnetron-typed RF discharge" Proc. of 3rd Int. Cont. on Reactive Plasmas and 14th Sympo. Plasma Processing. 211-212 (1997)
Yunlong Li: "Production of large-diameter plasma by modified magnetron-typed RF discharge" Proc. of 3rd Int. Cont. on Reactive Plasmas and 14th Sympo. Plasma Processing. 211-212 (1997)
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李云龙：“改进磁控管式射频放电生产大直径等离子体”，Proc.
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