Thick film hydrogen silsesquioxane planarization for passive component technology associated with electronic-photonic integrated circuits
Thick film hydrogen silsesquioxane planarization for passive component technology associated with electronic-photonic integrated circuits
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用于与电子光子集成电路相关的无源元件技术的厚膜氢倍半硅氧烷平坦化
DOI：
10.1116/1.5123286
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Al-Moathin A
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Al-Moathin A
