広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第7報）－矩形溝計測による表面トポグラフィ計測原理の検証－
広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第7報）－矩形溝計測による表面トポグラフィ計測原理の検証－
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利用宽带光频梳散射光谱进行表面形貌测量的基础研究（第七次报告）-利用矩形槽测量验证表面形貌测量原理-
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高谷裕浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
板倉聡史;上野原努;水谷康弘;高谷裕浩
