Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe: "Residual Stress in Cu Films Deposited by H-Assisted Plasma CVD Using Cu(EDMDD)_2"Proc.2003 International Symposium on Dry Process. 231-236 (2003)
Kosuke Takenaka, Manabu Takeshita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe: "Residual Stress in Cu Films Deposited by H-Assisted Plasma CVD Using Cu(EDMDD)_2"Proc.2003 International Symposium on Dry Process. 231-236 (2003)
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Kosuke Takenaka、Manabu Takeshita、Kazunori Koga、Masaharu Shiratani、Yukio Watanabe：“使用 Cu(EDMDD)_2 通过 H 辅助等离子体 CVD 沉积的铜膜中的残余应力”Proc.2003 国际干法研讨会。
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