Ultrasonic spray-assisted vapor-deposition method as a cost-effective and environmental-friendly technology for fabrication of novel devices
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超声波喷雾辅助气相沉积方法是一种经济高效且环保的新型器件制造技术
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Fujita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Piao;S-D. Lee;S. Katori;T. Ikenoue;K. Kaneko;S. Fujita
