基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究
基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
曹明威;陈德勇;王军波;焦海龙;张健
