Siウェハー上の薄膜界面領域観察を目指した断面STMシステムの開発
Siウェハー上の薄膜界面領域観察を目指した断面STMシステムの開発
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开发横截面 STM 系统，旨在观察硅晶圆上的薄膜界面区域
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大門寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
立花和也;太田啓介;服部賢;上田一之;大門寛
