スパッタエッチングにより形成した微細突起物のSEM画像を用いた突起物3Dモデルの生成

スパッタエッチングにより形成した微細突起物のSEM画像を用いた突起物3Dモデルの生成
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使用溅射蚀刻形成的微突起的 SEM 图像生成突起的 3D 模型

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
図学研究
影响因子:
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通讯作者:
高 三徳,中佐 啓治郎,川島 希世子
高 三徳,中佐 啓治郎,川島 希世子
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Syunsuke Nakano;Mohd Danial Ibrahim;Yuta Sunami;高 三徳,中佐 啓治郎,川島 希世子

文献摘要

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