TiN薄膜の転がり疲労はく離発生寿命に及ぼす熱処理の影響
TiN薄膜の転がり疲労はく離発生寿命に及ぼす熱処理の影響
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热处理对TiN薄膜滚动疲劳剥落寿命的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田邉裕貴,高松徹,濱田哲郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高坂達郎;南佳之;逢坂勝彦;澤田吉裕;田邉裕貴,高松徹,濱田哲郎
