テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型反応性プラズマ診断
テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型反応性プラズマ診断
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使用太赫兹时域光谱进行电容耦合反应等离子体诊断
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安藤あゆみ
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Marumo;K.;Urabe;T.;Goto;A.;Takano;Y.;Nakasheama;M.;安藤あゆみ
