Observation of Pull-In by Casimir Force in MEMS-Controlled Nanogap Fabricated by Silicon Cleavage
Observation of Pull-In by Casimir Force in MEMS-Controlled Nanogap Fabricated by Silicon Cleavage
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硅劈裂制造的 MEMS 控制纳米间隙中卡西米尔力拉入的观察
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Toshiyuki Tsuchiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masaki Shimofuri;Yoshikazu Hirai;Amit Banerjee;and Toshiyuki Tsuchiya
