水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果
水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果
复制标题
氮气稀释对氢自由基抗蚀剂去除率的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，西岡寛人，谷野柊，濱崎智行，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，関口淳，梅本宏信，堀邊英夫;谷野柊，濱崎智行，山本雅史，鹿間共一，堀邊英夫，関口淳;秋田航希，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫;西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
