In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscop
In-situ Monitoring of Plasma-induced Reactions with Infrared Spectroscop
复制标题
用红外光谱仪原位监测等离子体引发的反应
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masanori Shinohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Shinohara;K. Hara;Y. Takami;Y. Takaki;A. Fukae;K. Amano;Y. Matsuda;and H. Fujiyama,;Masanori Shinohara
