激光化学气相沉积法制备多层氧化铈缓冲层薄膜

激光化学气相沉积法制备多层氧化铈缓冲层薄膜
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DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
武汉工程大学学报
影响因子:
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通讯作者:
赵培
赵培
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
陈志杰;潘天宇;徐源来;赵培

文献摘要

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