Super Low Temperature Fabrication of Thin Film Transistors with Polycrystalline Si and Oxide Semiconductor Materials
Super Low Temperature Fabrication of Thin Film Transistors with Polycrystalline Si and Oxide Semiconductor Materials
复制标题
多晶硅和氧化物半导体材料薄膜晶体管的超低温制造
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Horita
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
中嶋誠二,辻田陽介,瀬戸翔太;藤沢浩訓,小舟正文,清水勝,朴正敏,金島岳,奥山雅則;山崎浩司;西永慈郎;中嶋 誠二;Seiji Nakashima;西永慈郎;山崎浩司;辻田 陽介;M. Horita
