M.Shimozuma: "Hydrogenated Amorphous Carbon Films Depotited by Low Frequency Plasma CVD at Room Temperature" J.Appl.Phys.66. 447-449 (1989)
M.Shimozuma: "Hydrogenated Amorphous Carbon Films Depotited by Low Frequency Plasma CVD at Room Temperature" J.Appl.Phys.66. 447-449 (1989)
复制标题
M.Shimozuma：“室温下低频等离子体 CVD 沉积的氢化非晶碳膜”J.Appl.Phys.66。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
