静電駆動による片持ち梁BNの共振特性
静電駆動による片持ち梁BNの共振特性
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静电驱动悬臂BN谐振特性
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秋田成司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉川大貴;竹井邦晴;有江隆之;秋田成司
