T. Shimizu, Y. Zaitsu, S. Matsumoto: "Determination of Vacancy Diffusivify in Silicon for Process Simulation" Simulation of Semiconductor Device and Processes. 6. 444-447 (1995)
T. Shimizu, Y. Zaitsu, S. Matsumoto: "Determination of Vacancy Diffusivify in Silicon for Process Simulation" Simulation of Semiconductor Device and Processes. 6. 444-447 (1995)
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T. Shimizu、Y. Zaitsu、S. Matsumoto：“用于工艺仿真的硅中空位扩散的确定”半导体器件和工艺的仿真。
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