積層セラミック技術を応用したMEMSマイクロ発電機の開発
積層セラミック技術を応用したMEMSマイクロ発電機の開発
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应用多层陶瓷技术开发MEMS微型发电机
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
飯塚茜,千葉城治,高藤美泉,齊藤健,内木場文男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長尾光雄;遠藤徳雄;横田理;飯塚茜,千葉城治,高藤美泉,齊藤健,内木場文男
