ECF micromotor using MEMS technology
ECF micromotor using MEMS technology
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采用MEMS技术的ECF微电机
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiro Yoshida and Kazuya Edamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Joon・wan Kim;Yoshito Nishida;Shinichi Yokota;Kazuhiro Yoshida and Kazuya Edamura
