イオン注入およびウェハ直接接合を用いた埋め込み量子構造作製手法の検討
イオン注入およびウェハ直接接合を用いた埋め込み量子構造作製手法の検討
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采用离子注入和晶圆直接键合的掩埋量子结构制造方法的研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡辺精一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坂口紀史;大森ちひろ;村上優;渡辺精一
