ゾル・ゲル法によるSrTiO_3薄膜の高品位成膜とその電気的特性評価
ゾル・ゲル法によるSrTiO_3薄膜の高品位成膜とその電気的特性評価
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溶胶-凝胶法高质量沉积SrTiO_3薄膜及其电性能评价
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福永 大樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福崎英一郎;馬場健史;内山 潔;福永 大樹
