シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜におけるキャリア選択能の水素プラズマ処理温度依存性
シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜におけるキャリア選択能の水素プラズマ処理温度依存性
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硅纳米晶/氧化硅复合薄膜中载流子选择性的氢等离子体处理温度依赖性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松見優志，後藤和泰，ビルデ マーカス，黒川康良，福谷克之，宇佐美徳隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松見優志，後藤和泰，ビルデ マーカス，黒川康良，福谷克之，宇佐美徳隆
