Crack Healing Behavior of SiN/SiC Nano-Laminated Films
Crack Healing Behavior of SiN/SiC Nano-Laminated Films
复制标题
SiN/SiC纳米层压薄膜的裂纹愈合行为
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Nakatani;J. Nishimura;S. Hanaki;H. Uchida
