Mist chemical vapor deposited-Al2O3/AlGaN interfacial characterization for GaN MIS-HEMTs

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GaN MIS-HEMT 的雾化学气相沉积-Al2O3/AlGaN 界面表征

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
M. Kuzuhara
M. Kuzuhara
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Motoyama;Z. Yatabe;Y. Nakamura;A. Baratov;R. S. Low;S. Urano;J. T. Asubar;M. Kuzuhara

文献摘要

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