Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection

Characterization of a micro thermal sensor for surface defect inspection
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用于表面缺陷检测的微型热传感器的表征

DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
Proceedings of the 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2016)
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
Wei Gao
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yuki Shimizu;Yuki Matsuno;Yuta Ohba;Yuan-Liu Chen;Wei Gao

文献摘要

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