水中レーザーアニールによるプラスチック基板上多結晶シリコン薄膜形成
水中レーザーアニールによるプラスチック基板上多結晶シリコン薄膜形成
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水下激光退火在塑料基板上形成多晶硅薄膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
町田絵美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Emi Machida;et. al.;Emi Machida;Emi Machida;町田絵美
