水素プラズマによるSn薄膜のイオンエッチング過程における水素イオンエネルギーの影響
水素プラズマによるSn薄膜のイオンエッチング過程における水素イオンエネルギーの影響
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氢离子能量对氢等离子体离子刻蚀Sn薄膜过程的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内野喜一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永田峻;Ji Mengran;内野喜一郎
