窒化シリコン膜を用いた高歪ゲルマニウムフォトニック結晶ナノビーム共振器の設計
窒化シリコン膜を用いた高歪ゲルマニウムフォトニック結晶ナノビーム共振器の設計
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采用氮化硅薄膜的高应变锗光子晶体纳米束谐振器设计
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒川泰彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
黒木理宏;加古敏;岩本敏;荒川泰彦
